真是逆天了，清华大学搞出了一个EUV光源方案，震惊了所有人。
最近几天，随着华为Mate 60的问世，麒麟9000S的热度居高不下，国内外各种机构、个人都在拆解分析这颗芯片，得出的结论也比较多。但不管真相如何，这颗芯片使用的必然不是最先进的工艺制程，但却获得了不俗的性能表现，这也让很多人十分意外，也证明了华为的芯片设计方面的能力。
那么随着这次的突破，大家纷纷猜测，是不是国产光刻机也有了大进展。随后，关于国产DUV光刻机和EUV光刻机的也就传闻越来越多。目前来看，可以总结为，DUV很快就会交付使用，EUV快的话是明年。是不是非常值得期待呢？
不过大家也别着急，劲爆的消息还有很多，例如就在刚刚，突然传出消息，清华大学正在搞一个新的EUV光源方案，他就是SSMB-EUV光源，我们先来简单说说这个是什么意思。 6park.com
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大家看图，感觉是一个环形跑道对吧，这就是它的特别之处，200米长，20米宽，也就是大。
我们都知道，ASML的EUV光刻机的光源是小型化的产品，因为光刻机是用来销售的，涉及到运输环节，所以决定了它的整机尺寸不能太大。而我们不需要考虑外观尺寸的问题，能满足需求即可。
清华大学的这个SSMB-EUV光源，功率达到了10千瓦，是ASML EUV光源250瓦功率的40倍，能够同时支持数十台光刻机，换句话说，一个大型的EUV光刻机工厂出现了。想象那个画面，都挺美好的。对此，有网友评论的非常有趣，由步枪变成了机关枪，还有网友说这哪是光刻机，这是光刻炮啊！
这个大型装置首先是利用高重频微波电子枪产生一串电子束，长度百纳秒量级。产生的电子束将在一段直线加速腔中被加速到约400 MeV，此时的电子束是脉冲分布的，间隔为加速所用微波的周期(约10 cm)。之后将这些电子束团注入到展束环中对束团进行纵向的拉伸，使电流分布由梳状得到展平，得到在纵向上均匀分布的准连续束团。之后将该束团从展束环引出，注入到SSMB主环中进行储存，在主环中，电子束由于激光调制器的聚束作用并在量子激发和辐射阻尼平衡下保持微聚束状态， 束长在数十纳米量级。该微聚束在辐射段被进一步压缩到3nm左右，实现波长13.5nm的强相干辐射，从而输出千瓦量级的EUV光。 6park.com
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另外，SSMB-EUV光源并不是现在才有的，早在2021年年初，相关的论文就发表在了世界顶级学术期刊《自然》上。 6park.com
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并且根据今年年初官方的消息，SSMB-EUV光源落户雄安。 6park.com
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其实早期的极紫外光也是靠大型电子加速器获取的，但是为了将EUV光刻机商品化，所以对EUV光源进行了小型化改造，所以其技术难度也很高。
当然，有了SSMB-EUV光源，不意味着传统的EUV光源我们就不搞了。例如，头一段时间，长春光机所公开了一批省科技奖提名项目，其中有五项是与光刻机有关，并且大部分都跟EUV光刻机有关，包括极紫外光光刻机光学技术。可见，我国在EUV光源领域已经取得了不少突破。
多种技术方向齐头并进，这也是我们的传统，哪个先完成，哪个技术先进、成本可靠、效率高，就先用哪个。
总之，SSMB-EUV光源这个方案极具创新性，把极紫外光光源变成了类似发电厂发出来的电，天然气公司输送的天然气，供暖企业提供的热水，把这些资源变成了一种原材料，根据自己的需求购买，极大的降低了EUV光刻机的复杂性，有效降低了技术难度，好处多多。
不管怎样，从多种线索来看，有网友表示的国产EUV光刻机也快了，看来绝非空穴来风。不论是ASML的DUV光刻机还是EUV光刻机，都是西方按照他们的逻辑、技术去实现的。不意味着，我们一定要走他们走过的路，这时，中国人所具备的聪明特质，就发挥作用了。
所以，还是那句话，千万别再用西方的过往经验套用在中国身上，真的不适用。那么接下来，就让我们等待更多国产半导体产业链的好消息吧。
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